Bronkhorst High-Tech BV

Przepływomierze masowe gazu z uszczelnieniem metalowym

Przepływomierze masowe Bronkhorst® model F-111CM (MFM) zostały zaprojektowane specjalnie w celu spełnienia wymagań rynku półprzewodników, a także innych zastosowań związanych z gazami o wysokiej czystości. Przyrządy te charakteryzują się wysoką jakością powierzchni i modułową konstrukcją z uszczelnieniami metal-metal, które zapewniają długotrwałą szczelność. Model F-111CM nadaje się do precyzyjnego pomiaru przepływu w zakresie od 0,12...6 sccm do 1...50 slm (w oparciu o N2) przy ciśnieniu roboczym od próżni do 1500 psig (100 bar).

Seria EL-FLOW® Metal Sealed jest wyposażona w cyfrową płytkę drukowaną, oferującą wysoką dokładność, doskonałą stabilność temperaturową i szybką reakcję. Główna cyfrowa płytka drukowana zawiera wszystkie ogólne funkcje potrzebne do pomiaru i sterowania. Oprócz standardowego wyjścia RS232 przyrządy oferują również analogowe wejścia/wyjścia. Opcjonalnie można zamontować wbudowany interfejs zapewniający protokoły CANopen®, DeviceNet™, EtherCAT®, PROFIBUS DP, PROFINET, Modbus RTU, ASCII lub TCP/IP, EtherNet/IP lub FLOW-BUS. Konstrukcja EL-FLOW® Metal Sealed oferuje opcjonalną funkcjonalność Multi Gas / Multi Range, zapewniając klientom (OEM) optymalną elastyczność i wydajność procesu.